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二象限探測器(bi-cell/dual-element/two-segment photodetectors)是由極小間隔的兩個具有公共襯底的PD所組成。當(dāng)線光斑同時照射到兩個象限能夠產(chǎn)生不同的光電流信號,通過計算即可精確獲得光斑一維坐標。應(yīng)用:機床測量、精密位移測量(position sensing)、表面輪廓測量等。

四象限探測器(quadrant photodetectors, QPD)是一種光敏面分為四個象限(quadrant),相鄰區(qū)域間隔極小且具有公共襯底的PD (photodiodes)或APD (avalanche photodiodes)。規(guī)則形狀的光斑同時照射到四個象限能夠使象限各自產(chǎn)生不同的光電流信號,通過計算即可精確獲得光斑二維坐標。應(yīng)用:光斑對中、精密位移測量(position sensing)、振動檢測、角度測量、制導(dǎo)等。

位置靈敏探測器(position sensitive detectors, PSD)利用橫向效應(yīng)測量光斑重心與探測器邊緣之間的光電流信號來得到光斑一維或二維的坐標信息。相較于象限探測器(bi-cell/dual-element/two-segment or quadrant photodetectors)有更高的動態(tài)范圍、量程和線性度,可有效屏蔽光斑形狀不規(guī)則對測量精度的影響。應(yīng)用:光斑校準、位移測量(position sensing)、運動分析、三角測距等。

象限探測器模塊[bi-cell/dual-element/two-segment or quadrant photodetector (QPD) modules]是基于象限探測器并且內(nèi)部集成了跨阻抗放大電路(trans-impedance amplifiers, TIA),使得其象限串?dāng)_低、可靠性高,更易于系統(tǒng)集成。應(yīng)用:光束歸零和定位,目標位置采集及對準(position sensing)

位置靈敏探測器模塊[position sensitive detectors (PSD) modules]是一種基于非均勻半導(dǎo)體橫向光電效應(yīng)的光電器件,模塊包含高精度二維位置靈敏探測器(two dimensional PSD)和低噪聲放大器,可以執(zhí)行精確的距離測量和位置測量(position sensing)。應(yīng)用:激光雷達系統(tǒng)、自動化生產(chǎn)線、機器人操作以及光學(xué)系統(tǒng)對準等。

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